CAX系列X-Y精密平臺

CAX系列X-Y精密平臺選用高強度鋁合金，經應力消除處理后再經攝氏196度之超深冷處理，可保證長期使用仍保有良好之精密度。工作臺內部和進給機構裝有5年或20000公里免維護的精密級直線導軌和C3級滾珠絲杠，既保持了原來的性能又實現了長期免維護。實現了穩(wěn)定的高行走精度、定位精度和大搭載質量，該結構承受力矩及復合負荷較強。采用AC400W伺服馬達，全閉環(huán)控制實現了極高精度的定位工作臺。X-Y軸的平臺220mm有效行程專業(yè)為8吋晶元設。 詳細介紹>>