中圖儀器激光干涉儀

中圖儀器激光干涉儀概述：中圖儀器激光干涉儀產品采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術，實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量，并且可。 詳細介紹>>