GMR-32B

GMR-32BLED固晶機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)主要包括運(yùn)動控制模塊、氣動部分、機(jī)器視覺部分和由伺服電機(jī)構(gòu)成的運(yùn)動執(zhí)行機(jī)構(gòu)。三、東元伺服在固晶機(jī)的應(yīng)用固晶機(jī)上總共采用4套200W伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分別控制X,Y軸傳動機(jī)構(gòu)以及鍵合臂取晶動作。其中要求最高的為控制鍵合臂的100W伺服。伺服動作要求：100W伺服電機(jī)通過同步帶帶動連桿快速正反轉(zhuǎn)實現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時針和順時針方向位移，逆時針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時，馬達(dá)要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準(zhǔn)確；2.客戶要求每個動作周期盡量的快，由此對伺服的響應(yīng)有較高要求。通過伺服增益參數(shù)的調(diào)整，最終可以實現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內(nèi)完成整定，整個固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認(rèn)可。經(jīng)營理念——服務(wù)創(chuàng)造價值、誠信面對未來服務(wù)理念——為客戶多想一點、為客戶多做一點人才理。 詳細(xì)介紹>>