中圖儀器SJ6000激光干涉儀

激光干涉儀可對機床、三測機及各種定位裝置進行高精度的（位置和幾何）精度校正，并可完成按標準測量各項參數(shù)，如線形位置精度、重復定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度及平行度等。另外，它還具有若干為機床廠商和用戶所歡迎的選擇功能，如自動螺距誤差補償（適用大多數(shù)控系統(tǒng)），機床動態(tài)特性測量與評估，回轉(zhuǎn)坐標分度精度標定，觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能等。中圖儀器SJ6000激光干涉儀性能特點：1.測量精度高、速度快，穩(wěn)定性好①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達nm級③使用高速光電信號采樣和處理技術，測量速度可達到4m/s。④配合有環(huán)境補償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發(fā)熱而引起的鏡組形變2.應用范圍廣①可以實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于。 詳細介紹>>