B雙面研磨拋光機(jī)
國(guó)產(chǎn)品牌:廣州環(huán)宇 13.6B 湖南宇晶9B 蘭州瑞德15B
產(chǎn)品用途
本機(jī)主要用于8英寸以下硅片、光學(xué)玻璃、陶瓷片、石英晶體及其他半導(dǎo)體材料的雙面研磨,也可用于其它硬脆材料的雙面高精度研磨加工。
設(shè)備基本參數(shù)
3.1、 研磨盤(pán)尺寸: φ1355mm×φ458mm×50mm
3.2、 游輪參數(shù):公制:Z=170 M=3 α=20°
3.3、 最小拋光厚度:0.40mm
3.4、 下盤(pán)轉(zhuǎn)速: 0-60rpm
3.5、 主電機(jī): 11kW AC380V 1450rpm
3.6、 齒圈電機(jī): 4kW AC380V 1440 rpm
3.7、 太陽(yáng)輪電機(jī):1.5kW AC380V 1440rpm
3.8、 抬升電機(jī): 0.75kW AC380V 1390rpm
3.9、 三相電泵: 1/4HP AC380V 70L/min
3.10、外型尺寸: 1950㎜×3000㎜×2800㎜
3.11、重量: 約7000kg
設(shè)備的安裝
設(shè)備應(yīng)安裝在地面平坦、安裝厚度應(yīng)大于300mm,遠(yuǎn)離振動(dòng)源,無(wú)灰塵煙霧污染的場(chǎng)所。
a 溫度10℃-25℃
b 相對(duì)濕度≦95%
c 電源電壓AC380V ,50Hz
d 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa(必須為干燥的清潔空氣)
整機(jī)精度指標(biāo)
l 下盤(pán)平面度小于0.03mm;
l 下盤(pán)端面跳動(dòng)小于0.06mm;
主要特點(diǎn)
2.1變頻器配合異步電機(jī)拖動(dòng),實(shí)現(xiàn)了軟啟動(dòng),軟停止,調(diào)速穩(wěn)定,沖擊小。
2.2采用三電機(jī)同步拖動(dòng),變速范圍更廣,能適應(yīng)不同研磨材料及研磨工藝的要求;可實(shí)現(xiàn)快速修盤(pán)功能,提高生產(chǎn)效率。
2.3太陽(yáng)輪與內(nèi)齒圈同步抬升,滿(mǎn)足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求。
2.4上下研磨盤(pán)采用斜齒輪傳動(dòng),并且整機(jī)采用全齒輪傳動(dòng),運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
2.5上研磨盤(pán)的升降及研磨壓力的控制分別由上氣缸及加壓缸來(lái)完成。采用PLC控制,人機(jī)界面顯示整機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),壓力采用電-氣比例閥與壓力傳感器閉環(huán)反饋控制,壓力轉(zhuǎn)換過(guò)程實(shí)現(xiàn)了線(xiàn)性控制。用戶(hù)可根據(jù)研磨工藝進(jìn)行設(shè)置,壓力控制精度高。
2.6上盤(pán)采用最新的“浮動(dòng)”連接裝置,調(diào)心靈活,解決了錯(cuò)盤(pán)問(wèn)題。
2.7應(yīng)用人機(jī)界面(PT)與PLC 通訊,一方面顯示運(yùn)行參數(shù),另一方面通過(guò)其觸摸鍵調(diào)整、設(shè)定各項(xiàng)工藝參數(shù),主操作由普通鍵鈕完成。
2.8采用集中潤(rùn)滑裝置,各相對(duì)運(yùn)動(dòng)表面、齒輪嚙合部位、鏈輪都可得到充分潤(rùn)滑,大大提高了整機(jī)的使用壽命。
2.9本機(jī)整體為龍門(mén)式結(jié)構(gòu),上研磨盤(pán)上升到最高位置后由橫梁上兩小氣缸通過(guò)安全鉤自動(dòng)鎖定,鎖定可靠。
注:聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)說(shuō)是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的,謝謝!





