一、主要用途
主要用于硅片，鎢鋼，藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、陶瓷片、晶體、半導(dǎo)體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨/拋光，尤其適用于超薄工件的加工。
二、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、壓力精密控制：PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力閉環(huán)控制;
2、上盤減震裝置：動(dòng)靜態(tài)均適用的減振彈性連接方式;
3、精密傳動(dòng)系統(tǒng)：高精度小齒隙全齒輪傳動(dòng);
4、下盤支撐：高精度平面流體軸承支撐;
5、銷齒傳動(dòng)：內(nèi)外齒采用銷齒傳動(dòng)，延長載體使用壽命，維護(hù)便捷;
6、傳動(dòng)系統(tǒng)：三電機(jī)同步拖動(dòng)，上盤、下盤和齒圈、太陽輪(即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定，具有配方功能。
三、技術(shù)參數(shù)
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序號(hào) |
項(xiàng)目 |
規(guī)格參數(shù) |
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1 |
下盤 |
尺寸 |
Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨) |
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Φ640mm×Φ240mm×50mm(拋光) |
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轉(zhuǎn)速 |
3-45 rpm |
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驅(qū)動(dòng)電機(jī) |
7.5kW AC380V 50Hz 1440rpm |
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2 |
上盤 |
尺寸 |
Φ640mm×Φ240mm×50mm(研磨) |
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Φ640mm×Φ240mm×50mm(拋光) |
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轉(zhuǎn)速 |
3-30 rpm |
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驅(qū)動(dòng)電機(jī) |
4.0kW AC380V 50Hz 1440rpm |
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3 |
游星輪 |
參數(shù) |
節(jié)距：15.7 Z=64 |
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數(shù)量 |
6個(gè) |
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4 |
太陽輪 |
轉(zhuǎn)速 |
0-20 rpm |
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驅(qū)動(dòng)電機(jī) |
1.5kW AC380V 50Hz 1440rpm |
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5 |
精度指標(biāo) |
上、下盤平面度 |
≤0.015mm |
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下盤端跳 |
≤0.02mm |
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6 |
加工范圍 |
最大加工尺寸 |
Φ280mm |
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最小加工厚度 |
0.15mm(≤2"片） |
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整盤承載量 |
18×6=108片（2" 圓片） |
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7 |
水源 |
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純水或自來水 |
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8 |
電源 |
功率 |
14kW AC380V 50Hz |
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線纜規(guī)格 |
三相五線刮．3×4mm2+2×2.5mm2 |
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9 |
氣源 |
壓力 |
壓縮空氣源0.5-0.6Mpa |
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接管口徑 |
接口Φ10mm（外徑） |
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10 |
外形尺寸 |
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長×寬×高：1650mm×1300mm×2500mm |
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11 |
重量 |
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約2000Kg |
注：聯(lián)系我時(shí)，請說是在“傲立機(jī)床網(wǎng)”上看到的，謝謝！
